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實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備
等離子清洗
蘇州半導(dǎo)體晶圓等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2025-09-03
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪 問(wèn) 量 :373
18662699877
產(chǎn)品分類(lèi)
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提高材料的導(dǎo)電性能:等離子清洗后的材料表面,能夠去除表面的雜質(zhì)和氧化物,從而提高材料的導(dǎo)電性能。
等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域,如:
- 電子行業(yè):提高電子元器件的附著力和導(dǎo)電性能。
- 汽車(chē)制造:提高汽車(chē)零部件的耐腐蝕性和附著力。
- 醫(yī)療器械:提高醫(yī)療器械表面的無(wú)菌性和生物相容性。
- 航空航天:提高航空航天器材的表面性能和耐腐蝕性。
總之,等離子清洗機(jī)是一款非常實(shí)用的設(shè)備,能夠大大提高產(chǎn)品的質(zhì)量和性能
真空等離子主機(jī) | ||
設(shè)備尺寸 | L1000×W900×H1750mm | |
重量 | 500Kg | |
需求電源 | AC380V,50/60Hz,5線,30A | |
等離子發(fā)生器規(guī)格 | ||
電源功率 | 射頻 | 中頻 |
0~600W | 0-1000W | |
電源頻率 | 13.56MHz | 40 KHz |
真空系統(tǒng) | ||
真空泵 | 飛越雙級(jí)旋片泵(油泵):60m3/h | |
真空管路 | 全不銹鋼管路,以及高強(qiáng)度真空波紋管 | |
材質(zhì) | 鋁合金 | |
厚度 | 25mm | |
密封性 | 軍工級(jí)焊接密封 | |
腔體內(nèi)部尺寸 | 450×450×500mm(寬×高×深) | |
電極板有效尺寸 | 410×400mm(寬×深) | |
可用空間間距 | 100mm | |
電極板布置方式 | 豎直電極板 | |
工作托盤(pán) | 標(biāo)配一套,材質(zhì)可選配(鋁材、304不銹鋼) | |
工作空間 | 2層 共6個(gè)空間 | |
工藝氣體 | ||
流量范圍 | 0~300SCCM | |
工藝氣體氣路 | 標(biāo)配兩路,可定制 | |
控制系統(tǒng) | ||
系統(tǒng)控制 | PLC | |
交付方式 | 7寸觸控屏幕 |
等離子清洗機(jī)原理:通過(guò)對(duì)工藝氣體施加電場(chǎng)使之電離化成為等離子體。等離子體的“活性"組成包括: 離子、電子、原子、自由 活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子處理就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì),從而優(yōu)化材料表面性能,實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
在等離子清洗機(jī)中,攝像頭模組被放置在清洗室中,通過(guò)等離子體的作用,將模組表面的污垢和有機(jī)物分解成無(wú)害的氣體和水。由于等離子體的高能量,清洗效果非常明顯,可以將模組表面的污垢和有機(jī)物去除,使其恢復(fù)原有的光潔度和透明度。同時(shí),等離子清洗機(jī)的清洗過(guò)程非常快速,可以在短時(shí)間內(nèi)完成清洗,提高生產(chǎn)效率。
廠務(wù)規(guī)格要求
廠務(wù)規(guī)格要求 | |
交流電源規(guī)格 | 電源:AC380V,50/60Hz,5線,16A |
廠務(wù)排氣 | 流量:2.0 m3/min |
廠務(wù)工作氣體要求 | 流量:1~10 L/min 壓力:3~7 kg/cm2 管徑:6×4 mm 材質(zhì):PU管 純度:99.99%以上 |
廠務(wù)壓縮空氣要求 | 流量:1~10 L/min 壓力:3~7 kg/cm2 管徑:8×5 mm 材質(zhì):PU管 露點(diǎn):-40℃以下 Particle>0.3μm:10Pcs/ft3 |
除了普通的等離子清洗機(jī)外,還有一種寬幅等離子清洗機(jī),可以同時(shí)清洗多個(gè)攝像頭模組。寬幅等離子清洗機(jī)采用連續(xù)清洗的方式,可以在一次清洗中同時(shí)清洗多個(gè)模組,提高了清洗效率和生產(chǎn)效率。同時(shí),寬幅等離子清洗機(jī)還具有自動(dòng)化控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)清洗,減少人工干預(yù),提高清洗質(zhì)量和穩(wěn)定性。
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